Fekete, Albert-Zsombor and Jakab-Farkas, László and Papp, Sándor (2016) Beágyazott rendszer fejlesztése tömegspektrometriás mérések feldolgozására. Műszaki Tudományos Közlemények (4). pp. 61-64. ISSN 2393-1280
|
Text
MTK4_06_FeketeAlbertZsombor_4oldalas.pdf Download (868kB) | Preview |
Abstract
A reaktív egyenáramú magnetronos plazmaporlasztási eljárással előállított titán-nitrid és titán-oxinitrid kopásálló vékonyréteg-bevonatokat számos ipari alkalmazásban hasznosítják. A sikeres porlasztási folyamat kulcsa a különböző egymástól függő rendszerparaméterek megfelelő mérése és szabályozása, mint például a reaktív gázok parciális nyomásai, amelyek közvetlenül befolyásolják a vékonyrétegbevonat szerkezetét és összetételét. A reaktív gázok parciális nyomásainak szabályozása pozítiv hatással van az előállított rétegszerkezetre. A cikkben bemutatott témakörök tartalmazzák a központi adatfeldolgozó egység tervezésének ismertetését, melynek segítségével lehetőség nyílik a mérőberendezésként használt kvadrupól típusú tömegspektrométer működtetésére, valamint egy optimalizált algoritmusokat tartalmazó osztott rendszer kialakítására, amelyek együttesen a tömegspektrométer helyes működtetéséhez szükséges védelmi rendszert alkotják.
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Subjects: | T Technology / alkalmazott, műszaki tudományok > T2 Technology (General) / műszaki tudományok általában |
| SWORD Depositor: | MTMT SWORD |
| Depositing User: | Zsolt Baráth |
| Date Deposited: | 23 Sep 2022 11:54 |
| Last Modified: | 23 Sep 2022 11:54 |
| URI: | http://real.mtak.hu/id/eprint/149589 |
Actions (login required)
 |
Edit Item |
