REAL

Reaktív plazmaporlasztási folyamat automatizálása

Fekete, Albert-Zsombor (2017) Reaktív plazmaporlasztási folyamat automatizálása. Műszaki Tudományos Közlemények (6). pp. 79-84. ISSN 2393-1280

[img]
Preview
Text
MTK6_08_FEKETE_Albert_Zsombor.pdf

Download (816kB) | Preview

Abstract

A különféle vékonyréteg-bevonatok előállítására alkalmazott reaktív magnetronos plazmaporlasztási eljárás rendkívül instabil folyamat, amely szükségessé teszi a szabályozást. A dolgozat célja egy sajátos többszintű hierarchikus irányítási rendszer felépítésének ismertetése, amely nagymértékben hozzájárul a porlasztási folyamat valamennyi paraméterének a méréséhez, feldolgozásához, tárolásához és szabályozásához. A dolgozat hangsúlyosan tárgyalja a digitális kommunikációs protokollt és az osztott rendszer elemeinek szinkronizálására javasolt eljárást.

Item Type: Article
Subjects: T Technology / alkalmazott, műszaki tudományok > T2 Technology (General) / műszaki tudományok általában
SWORD Depositor: MTMT SWORD
Depositing User: Zsolt Baráth
Date Deposited: 27 Sep 2022 14:30
Last Modified: 27 Sep 2022 14:32
URI: http://real.mtak.hu/id/eprint/150178

Actions (login required)

Edit Item Edit Item