Repository of the Academy's Library

A szubmikron méréstechnika egyes érzékelési feladatainak elméleti és kísérleti vizsgálata = Theoretical and experimental investigation of certain sensory tasks in the submicron measuring technique

Hermann, Gyula and Füzessy, Zoltán and Sántha, Csongor and Tálas, Mátyás (2009) A szubmikron méréstechnika egyes érzékelési feladatainak elméleti és kísérleti vizsgálata = Theoretical and experimental investigation of certain sensory tasks in the submicron measuring technique. Project Report. OTKA.

[img]
Preview
PDF
48850_ZJ1.pdf

Download (443Kb)

Abstract

A kutatás során elkészült három különböző mechanikai felépítésű mérőfej konstrukció és mérő elemként kapacitív és optikai érzékelőket, valamint pásztázó alagút szenzorokat alkalmaztuk. Mindhárom konstrukció dinamikus viselkedését előzetesen véges elem szoftver felhasználásával elemeztük. A felhasznált optikai érzékelőt, amely alkalmas mind az elmozdulás, mind a szögváltozás mérésére hagyományos CD/DVD leolvasófejből alakítottuk ki. Elkészült továbbá egy 1-dimenzionális és egy 3-dimenzionális kalibráló berendezés, melyek mérési bizonytalansága jobb, mint 20 nm. Mikrokontrollerben megvalósítható eljárást dolgoztunk ki, a mérőerő okozta deformációból származó hibák korrigálására | During the project three probe heads, with different mechanical constructions had been developed. The dynamic behaviour of all three constructions were analysed using finite element software. The optical sensors capable of measuring both linear and angular displacement where derived from conventional CD/DVD optical heads. Further a 1-dimensional and 3-dimensional calibration system was implemented. Their measuring uncertainty is better then 20 nm. Microcontroller based algorithm was developed for the compensation of the probe deflection, resulting from the measuring force.

Item Type: Monograph (Project Report)
Uncontrolled Keywords: Automatizálás és Számítástechnika
Subjects: T Technology / alkalmazott, műszaki tudományok > T2 Technology (General) / műszaki tudományok általában
Depositing User: Mr. Andras Holl
Date Deposited: 07 Sep 2010 14:30
Last Modified: 30 Nov 2010 13:51
URI: http://real.mtak.hu/id/eprint/2278

Actions (login required)

View Item View Item