Lézeres eljárásokkal létrehozott felületi mikrostruktúrák, vékonyrétegek és nanoklaszter-rétegek nagy laterális- és mélységi feloldású jellemzése pásztázó nukleáris mikroszondával

Kántor, Zoltán (2007) Lézeres eljárásokkal létrehozott felületi mikrostruktúrák, vékonyrétegek és nanoklaszter-rétegek nagy laterális- és mélységi feloldású jellemzése pásztázó nukleáris mikroszondával. Project Report. OTKA.

Preview

PDF 34381_ZJ1.pdf Download (957kB)

Abstract

Lézeres elgőzölögtetéssel, lézeres direktírással, elektrokémiai leválasztással, fizikai gőzfázisú leválasztással és egyéb technikákkal vékonyrétegeket és vékonyréteg-struktúrákat készítettünk és elvégeztük nagy feloldású analízisét Rutherford-visszaszórásos spektrometriával, valamint a szükséges kiegészítő jellemzését. Meghatároztuk vékonyrétegek rétegszerkezetét, geometriai szerkezetét (nanostruktúra), elemi összetételének helyfüggését. A spektrumok, tomográfiai képek és elemtérképek kiértékelésére az elterjedt kiértékelő szoftverek mellett saját szoftvereket is kifejlesztettünk: egy tetszőleges felületi topográfiát és nanoszerkezetet mutató, tetszőleges anyagú mintán végzett RBS mérés során előálló spektrumok kiszámítására alkalmas számítógépes szoftvert, valamint egy, kevéssé különböző hozamú területrészek elkülönítésére igen korlátozott beütésszámok esetén is alkalmas szofvert. | Thin films and thin film structures were prepared by pulsed laser deposition, laser direct writing, electroplating, physical vapor deposition and related techniques, and analyzed by means of high-resolution Rutherford backscattering spectrometry and other complementary methods. We determined the layer structure, the geometrical structure (nanostructure) and the lateral variation of elemental composition of the films. Among the wide-spread evaluation software commonly used for the evaluation of RBS spectra, tomographic images and elemental maps, we have developed and used new software: one for the simulation of the results of an RBS experiment performed on a sample with arbitrary microstructure and chemical composition distribution, and another one to distinguish between areas of low contrast in backscattering yield for very low count number in elemental maps.

Actions (login required)

Edit Item