Kvantitatív Makyoh-topográfia = Quantitative Makyoh topography

Riesz, Ferenc and Eördögh, Imre and Laczik, Zsolt and Lukács, István Endre and Makai, János (2007) Kvantitatív Makyoh-topográfia = Quantitative Makyoh topography. Project Report. OTKA.

Preview

PDF 37711_ZJ1.pdf Download (350kB)

Abstract

A korszerű félvezető-technológiában alapvető fontosságú a szeletek felületi morfológiájának, az ideális síkjellegtől való eltérésének a minősítése. A korszerű nagy átmérőjű szeletek megjelenésével a síkjelleg problémája és így a megfelelő minősítési eljárás szükségessége fokozottabban jelentkezik. A jelen pályázat témája egy, a Távol-Keletről származó ősi, "mágikus" tulajdonságú tükör elvén alapuló optikai vizsgálati módszer, a Makyoh-topográfia alkalmassá tétele igényes metrológiai célokra. A kutatás során új koncepciójú, nagy méretű minták vizsgálatára alkalmas mérési összeállításokat valósítottunk meg. Tanulmányoztuk a felületi domborzat visszanyerésére szolgáló eljárások érzékenységét és pontosságát, valamint a leképezés alapvető tulajdonságait. A kidolgozott mérési eljárást számos félvezető-technológiai és egyéb kutatásban alkalmaztuk. Lépéseket tettünk a mérési eljárás gazdasági hasznosítása érdekében. | The assessment of the surface morphology and flatness of the wafers is a key issue in modern semiconductor technology. The need for a proper flatness characterisation method became even more important with the advent of today's large-diameter wafers. The aim of the present project is to make Makyoh topography, an optical characterisation tool based on an ancient 'magic' mirror of Far-East origin suitable for advanced metrological purposes. During our research, we have constructed novel measurement set-ups suitable for the study of large-diameter samples. We have studied the sensivity and accuracy of the numerical methods for the reconstruction of the surface topography and investigated the basic characteristics of the imaging mechanism. The developed methods have been applied in semicondutor technolgy research as well as in other areas. We have taken steps forward the industrial exploitation.

Actions (login required)

Edit Item