REAL

Protonnyalábos mikromegmunkálás = Proton beam Micromachinig

Rajta, István and Dobos, Erik and Erdélyiné Dr. Baradács, Eszter (2008) Protonnyalábos mikromegmunkálás = Proton beam Micromachinig. Project Report. OTKA.

[img]
Preview
PDF
42474_ZJ1.pdf

Download (2007Kb)

Abstract

A téma keretében a mikromegmunkálás módszerét telepítettük az ATOMKI pásztázó proton mikroszondájához. Második lépésben különböző nyomdetektor és más reziszt anyagokat vizsgáltunk a mikromegmunkálás szempontjából. A megmunkált anyagok különböző jellemzőit vizsgáltuk a besugárzási paraméterek függvényében. Az előállított eszközök (mikrostruktúrák) alkalmazási lehetőségeit fel kívántuk kutatni, mikrostruktúrákat állítottuk elő demonstrációs és konkrét alkalmazási célból. A világon második kutatócsoport lettünk e témában, szerepünk azonban nem másodrendű. Kihasználva saját adottságainkat, a nemzetközi irodalomhoz új kutatási eredményekkel járultunk hozzá. Az ATOMKI pásztázó proton mikroszondája így egy új, perspektivikus alkalmazási területet nyert. | We have installed the Proton Beam Micromachining (PBM) / P-beam Writing (PBW) method on the Scanning Nuclear Microprobe of ATOMKI. We have investigated various solid state nuclear track detector and other resist materials for micromachining properties. We have characterized various properties of materials as a function of irradiation parameters. We have explored the potential application areas of the produced microstructures. We have created products for demonstration and real application purposes. We became the second research group in the world in this field, but our role is not of secondary importance. Exploiting our resources, we have added new scientific results to the literature. The Scanning Nuclear Microprobe of ATOMKI has gained a new, prosperous application area.

Item Type: Monograph (Project Report)
Uncontrolled Keywords: Anyagtudomány és Technológia
Subjects: T Technology / alkalmazott, műszaki tudományok > TA Engineering (General). Civil engineering (General) / általános mérnöki tudományok
Depositing User: Mr. Andras Holl
Date Deposited: 08 May 2009 11:00
Last Modified: 30 Nov 2010 22:14
URI: http://real.mtak.hu/id/eprint/616

Actions (login required)

View Item View Item