Madarász, János and Niinistö, L. and Pokol, György (2005) Kapcsolt termoanalitikai módszerek vékony filmek technológiájának fejlesztésében. MAGYAR KÉMIAI FOLYÓIRAT - KÉMIAI KÖZLEMÉNYEK, 111 (3). pp. 114-117. ISSN 1418-9933
|
Text
1248171.pdf Download (423kB) | Preview |
Abstract
A termikus analízis, amelynek Magyarországon is nagy hagyományai vannak,1,2 leggyakrabban porított, ill. aprított formájú analitikai mintákat vizsgál. Azonban a termoanalitikai technikák és mérőberendezések, jelenlegi magas összetettségi szintjüknek köszönhetően már ma is képesek vizsgálni olyan hőmérséklet indukálta változásokat, amelyek vékony fi lmekben jelennek meg, ahol a rendelkezésre álló mintamennyiség csekély, rendszerint 1 mg/cm2 alatt van. Ez kiszélesíti a termikus analízis alkalmazhatósági körét a vékonyfi lm-technológiához, mely kulcsszerepet játszik új anyagok, folyamatok és eszközök kifejlesztésében, különösen a mikroelektronikai és optoelektronikai ipar számára. 3,4 Egyik nem túl régi példája a mind vékony rétegek mind porok formájában igen jelentős alkalmazási potenciállal bíró új anyagoknak a magas hőmérsékletű szupravezetők. A termikus analízist ezen új oxidkerámia anyagok tanulmányozására már rögtön a felfedezésük után alkalmazni kezdték, és különösen a szupravezetők szintézisében és a kívánatos oxigéntartalmuk, ill. oxigénsztöchiometriájuk jellemzésére a termoanalitikai módszerek elengedhetetleneknek bizonyultak.5-7 Általában elmondható, hogy a termikus analízis most válik azon technikáknak az egyik gyakran használt csoportjává, amelyek képesek problémamegoldásra a vékonyfi lmek formájában leválasztásra és jellemzésre kerülő anyagok körében. A termikus analízis megnövekedett használatának egyik oka, többek között, a vékony fi lmek kémiai leválasztási módszereinek a mind gyakoribb alkalmazása, amelyek során a prekurzoranyagok és leválasztás kémiai folyamatai kényelmesen tanulmányozhatók a termikus analízis eszközeivel.
Item Type: | Article |
---|---|
Subjects: | Q Science / természettudomány > QD Chemistry / kémia |
SWORD Depositor: | MTMT SWORD |
Depositing User: | MTMT SWORD |
Date Deposited: | 30 Jun 2014 17:36 |
Last Modified: | 31 Mar 2023 08:08 |
URI: | http://real.mtak.hu/id/eprint/13395 |
Actions (login required)
![]() |
Edit Item |