Bíró, Tamás and Renkó, József Bálint (2021) Mikrofluidikai cella tervezése és gyártása spektroszkópiai ellipszométerhez. ACTA MATERIALIA TRANSYLVANICA (HU), 4 (1). pp. 28-31. ISSN 2601-1883
|
Text
Acta2021-1-HU-05-Biro2.pdf Download (1MB) | Preview |
Abstract
Anyagvizsgálatoknál vagy egyes gyártási eljárásokban igen gyakran alkalmazott módszer a vékonyrétegek létrehozása a szövetszerkezet előhívására, illetve felületkezelési célból. Az eljárás széles körű használata ellenére a rétegépülés folyamatának fizikai háttere jelenleg sem teljesen feltérképezett. Vizsgálatához olyan eljárások és eszközök kidolgozására van szükség, amelyekkel a meglévőket kombinálva a rétegépülés jelensége folyamatában nyomon követhetővé válik. Erre a problémára a mikrofluidikai cellák fejlesztése jelenthet megoldást. Jelen cikkben egy új fejlesztésű mikrofluidikai cellát mutatunk be, amely több, a korábbi cellák használata során jelentkező problémára is megoldást kínál.
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Uncontrolled Keywords: | mikrofluidikai cella, tervezés, gyártás, spektroszkópiai ellipszometria |
| Subjects: | T Technology / alkalmazott, műszaki tudományok > T2 Technology (General) / műszaki tudományok általában |
| Depositing User: | Zsolt Baráth |
| Date Deposited: | 20 Sep 2022 11:06 |
| Last Modified: | 25 Aug 2025 07:51 |
| URI: | https://real.mtak.hu/id/eprint/149109 |
Actions (login required)
 |
Edit Item |
