Szép, Iván (1980) Anyagkölcsönhatások a fém-szilíciumdioxid-szilícium (mos) szerkezetű elektronikai eszközökben. MŰSZAKI TUDOMÁNY : A MAGYAR TUDOMÁNYOS AKADÉMIA MŰSZAKI TUDOMÁNYOK OSZTÁLYÁNAK KÖZLEMÉNYEI, 59 (1-4.). pp. 10-26. ISSN 0027-5085
|
Text
13_PDFsam_MUSZTUD_59.pdf Download (5MB) | Preview |
Abstract
A tanulmány áttekinti azokat a leglényegesebb anyagi kölcsönhatásokat, amelyek a szilícium alapú mikroelektronikai eszközök egyik fontos reprezentánsának, a fém-oxid-szilícium (MOS) szerkezetű alkatrészeknek előállítása, tárolása, valamint üzemeltetése során felléphetnek és az egyszerű fizikai modellétől eltérő tulajdonságokat okozhatnak. A szerző több mint másfél évtizedes vizsgálatai alapján kimutatja, hogy a nagyszámú kölcsönhatás közül dönt ő az oxid kialakításának módja, a technológiai műveletek alatt a MOS-rendszert ért hőhatások és azok körülményei, továbbá a fém felvitelének módja, minősége. E hatásokat kiváltó folyamatok mibenlétére, azok befolyásolásának módjára a szerző kísérletileg alátámasztott értelmezést ad. A tanulmány következtetéseiben a szerző kiemeli az érintett tudományágak interdiszciplináris kapcsolatának erősítését, amely feltétele a vizsgált rendszerben lejátszódó anyagkölcsönhatások további felderítésének és irányíthatóságának.
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Uncontrolled Keywords: | mechanika, rezgés |
| Subjects: | T Technology / alkalmazott, műszaki tudományok > T2 Technology (General) / műszaki tudományok általában T Technology / alkalmazott, műszaki tudományok > TA Engineering (General). Civil engineering (General) / általános mérnöki tudományok |
| Depositing User: | Simon Isztray |
| Date Deposited: | 10 Jun 2024 10:41 |
| Last Modified: | 10 Jun 2024 10:41 |
| URI: | https://real.mtak.hu/id/eprint/196762 |
Actions (login required)
 |
Edit Item |
