Szilárdtestek rácshibáinak láthatóvá tétele röntgen-topográfiai módszerekkel = Making Visible the Lattice Defects of Solids by X-ray Topographic Methods

Szántó, István (1969) Szilárdtestek rácshibáinak láthatóvá tétele röntgen-topográfiai módszerekkel = Making Visible the Lattice Defects of Solids by X-ray Topographic Methods. MŰSZAKI TUDOMÁNY : A MAGYAR TUDOMÁNYOS AKADÉMIA MŰSZAKI TUDOMÁNYOK OSZTÁLYÁNAK KÖZLEMÉNYEI, 41 (3-4). pp. 241-309. ISSN 0027-5085

Preview

Text 255_PDFsam_MUSZTUD_41.pdf - Published Version Download (22MB) | Preview

Abstract

A tanulmány bemutatja a röntgendiffrakciós vizsgálatok legújabb ágának, a különböző fizikai effektusok: az extinkció és az anomális abszorpció hasznosításán alapuló topográfiai eljárásoknak a fejlődését. Ezek a metodikák gyakorlatilag főleg a félvezető-technológiában váltak be, mint az ott használatos anyagok, elsősorban a Si, Ge és GaAs szennyeződéseinek és hibastruktúrájának feltérképezésére alkalmas korszerű minőségellenőrző módszerek. A szakterületen végzett alkalmazások kritikai áttekintése a legújabb irodalom, illetve a saját kísérleti tapasztalatok felhasználásával készült. | The paper presents the development of the newest branch of the X-ray diffraction methods, the topographic methods based on the utilization of different physical effects: extinction and anomalous absorption. These methods have been proved chiefly in semiconductor technology, as modern quality control methods suitable for mapping the impurities and the defect structure of the materials used, mainly of Si, Ge and GaAs. The critical review of the applications is based on the most recent literature and on the author's own experimental results.

Actions (login required)

Edit Item