Optikai hullámvezetők készítése ionimplantáció segítségével

Pszota, Gábor and Bányász, István (2024) Optikai hullámvezetők készítése ionimplantáció segítségével. MULTIDISZCIPLINÁRIS TUDOMÁNYOK: A MISKOLCI EGYETEM KÖZLEMÉNYE, 14 (1). pp. 94-106. ISSN 2062-9737

Preview

Text 2872_pub.pdf - Published Version Download (1MB) | Preview

Abstract

Annak érdekében, hogy az optoelektronikai eszközöknél az optikai komponenseket miniatürizálni lehessen, újfajta módszereket kellett kifejleszteni azok gyártásához. Vannak azonban olyan anyagok, amelyeknek optikai tulajdonságai nagyon kedvezőek lennének, de a jelenlegi módszerekkel nem lehetséges azok használata, ugyanis fizikai vagy kémiai károsodást szenvednek a gyártási folyamat során. Az ilyen anyagoknál megfelelő alternatívát jelenthet az ionok implantációján alapuló módszer. A nagy energiájú ionokkal történő besugárzás ugyanis bizonyítottan megváltoztatja az anyag optikai és szerkezeti tulajdonságait. Ezzel lehetőség nyílik például optikai hullámvezetők létrehozására, ha egy előre meghatározott területét sugározzuk be a mintának. Ez történhet úgy, hogy egy előre elkészített speciális szili-konmaszk segítségével rajzoljuk ki a kívánt geometriát, vagy mikronyaláb használatával közvetlenül is beleírható a mintába a megfelelő alakzat. Ebben a cikkben az említett két módszerrel kapcsolatos legutóbbi eredményeket tekintjük át. | In order to be able to miniaturize the optical components of opto-electronic devices, new methods had to be developed for their production. However, there are materials whose optical properties would be very favourable, but it is not possible to use them with current methods, because they suffer physical or chemical damage during the process. For such materials, a method based on ion implantation can be a suitable alternative. Irradiation with high-energy ions has been proven to change the optical and structural properties of the material. This makes it possible, for example, to create optical waveguides if a predetermined area of the sample is irradiated. This can be done by drawing the desired geometry with the help of a pre-made special silicone mask, or by using a microbeam, the appropriate shape can be written directly into the sample. In this article, we review the recent results related to these two methods.

Actions (login required)

Edit Item