Mikroelektromechanikai szerkezetek szilárdsági és megbízhatósági vizsgálata. = Strength and reliability analysis of microelectromechanical systems

Kovács, Ádám and Vízváry, Zsolt (2009) Mikroelektromechanikai szerkezetek szilárdsági és megbízhatósági vizsgálata. = Strength and reliability analysis of microelectromechanical systems. Project Report. OTKA.

Preview

PDF 49848_ZJ1.pdf Download (61kB)

Abstract

Végeselemes számítási módszert dolgoztunk ki szilárd testek hőmérséklet- és feszültség-mezőjének meghatározására kapcsolt piezo-termo-mechanikai terhelések esetén. Analitikus számítási módszert dolgoztunk ki téglalap alakú vékony membránok nagy elmozdulásának számítására. A kidolgozott eljárás alapján egyszerű becslési eljárást készítettünk kapacitív mikrokapcsoló alak optimalizációjára és perforált SiN-mikroszűrő lemez rugalmassági moduluszának meghatározására. Elkészítettük többrétegű, porózus szilícium struktúrák (mikro- és nanoszűrők) mechanikai modelljét. Módszert dolgoztunk ki a bonyolult szerkezetű struktúrák mechanikai anyagjellemzőinek méréssel való meghatározásához és résztvettünk a társkutató intézmény mérési eredményeinek feldolgozásában. Tönkremeneteli kritériumot fogalmaztunk és ez alapján numerikus becslést adtunk a terhelhetőség határára. | Finite element method has been developed to determine the temperature and stress state of solids under coupled piezo-thermo-mechanical loadings. An analytical method has been developed to calculate large displacement of rectangular thin membranes. Based on the method a simple estimation procedure has been made to optimize the shape of a capacitive micro-switch and to deterine the elasticity modulus of a perforated SiN-microfilter plate. Mechanical models of multi-layered, porous silicom-structures (micro- and nanofilters) have been built. A method has been worked out to determine the mechanical properties of these complicated structures by measurement and we assisted to the evaluation of the measured results. Failure criterium has been formulated and based on that a numerical estimation has been given on the load capacitiy.

Actions (login required)

Edit Item