Nagy megbízhatóságú integrált mikro- és nanorendszerek új tesztelési és vizsgálati módszerei, különös tekintettel az ambient intelligence kihívásaira = New design verification and examination principles and methods for high reliability integrated micro-nano-systems with special attention to the challenges of ambient intelligence

Székely, Vladimir and Kerecsen Istvánné Rencz, Márta and Kollár, Ernő and Mizsei, János and Poppe, András (2009) Nagy megbízhatóságú integrált mikro- és nanorendszerek új tesztelési és vizsgálati módszerei, különös tekintettel az ambient intelligence kihívásaira = New design verification and examination principles and methods for high reliability integrated micro-nano-systems with special attention to the challenges of ambient intelligence. Project Report. OTKA.

Preview

PDF 49893_ZJ1.pdf Download (80kB)

Abstract

A kutatás eredményeit mintegy 15 új publikációban fejtettük ki részletesen. Az elért eredményekben a következőkben foglalhatók össze: - Kutató és fejlesztő munkát végeztünk energiaforrással egybeintegrált érzékelők fejlesztése területén. - Kutató és fejlesztő munkákat végeztünk MEMS struktúrákba építhető tesztelő és öntesztelő struktúrák kifejlesztésére. Ezt a munkát a PATENT kiválósági hálózat nemzetközi projekt keretében különböző ad-hoc konzorciumokatban nemzetközi kooperációban végeztük. - Jelentős lépést értünk el a MEMS tokozások megbízhatósági vizsgálatában a termikus tranziens mérési módszer alkalmazásával. A kifejlesztett módszer több nemzetközi publikációban mutattuk be és a munka eredményeiből PhD disszertáció is készült. - Igen jelentős eredményeket értünk el a termikus anyagparaméterek pontosabb meghatározása területén. A témával foglalkozó publikációnkat az IEEE CPMT Best Paper díj adományozásával értékelte. - Jelentős eredményeket értünk el a mikrocsatornás hűtőszerkezetek hűtési tulajdonságainak minősítése területén. Az elért eredményeket 5 különböző nemzetközi kooperációban készült cikkben mutattuk be. | The research results are presented in detail in about 15 new publications. The achieved results can be summarized as follows: - Research and development work was accomplished in order to realize energy sources and sensors on the same chip. - Research and development work was carried out in order to develop new test and self test structures for the characterizations of MEMS systems. This work was done in the Framework of the PATENT Network of Excellence in different ad-hoc consortia. - Significant results were achieved in the field of reliability testing methods of MEMS packaging and MEMS etching with the help of the application of thermal transient testing. The newly developed methodology was presented in several international publications and it forms the basis of one PhD Thesis work. - Significant results have been achieved in the more accurate measurement of thermal material parameters. A publication dealing with this subject was given the IEEE CPMT Best Paper Award in 2006. - Significant results have been achieved in the qualification of the cooling properties of microchannel coolers. The results have been presented in 5 papers made in international cooperation.

Actions (login required)

Edit Item