Parciális nyomások mérésére alkalmas beágyazott rendszer fejlesztése reaktív porlasztóberendezés számára

Fekete, Albert-Zsombor and Jakab-Farkas, László (2015) Parciális nyomások mérésére alkalmas beágyazott rendszer fejlesztése reaktív porlasztóberendezés számára. Műszaki Tudományos Közlemények (2). pp. 87-90. ISSN 2393-1280

Preview

Text MTK2-08_Fekete,Jakab-Farkas.pdf Download (1MB) | Preview

Abstract

A reaktív egyenáramú magnetronos porlasztási eljárás segítségével számos vékonyréteg-bevonat hozható létre, amelyek felhasználhatóak különféle ipari alkalmazásokban, az orvostudományban, a repülőiparban, kamatoztatva sokoldalú szerkezeti és kémiai tulajdonságaikat. Az alkalmazási területet egyértelműen a rétegek összetétele és szerkezete határozza meg. Annak érdekében, hogy a porlasztási folyamat stabil és megismételhető legyen, szükségessé válik a folyamat valamennyi paraméterének szabályozása, amely testre szabott mérő, adatgyűjtő és irányítási rendszerek fejlesztésével érhető el. A következő cikk fő célja ismertetni a tervezési és megvalósítási lépéseit annak a beágyazott rendszernek, amely vezérel egy kvadrupól tömegspektrométert, valamint lehetővé teszi az analizátor által mért adatok elérését a laboratórium ethernet alapú belső hálózatán keresztül. A megvalósított rendszer segítségével lehetőség nyílik a reaktív porlasztási folyamatban részt vevő semleges és reaktív gázok parciális nyomásainak mérésére.

Actions (login required)

Edit Item