Fekete, Albert-Zsombor and Jakab-Farkas, László (2015) Parciális nyomások mérésére alkalmas beágyazott rendszer fejlesztése reaktív porlasztóberendezés számára. Műszaki Tudományos Közlemények (2). pp. 87-90. ISSN 2393-1280
|
Text
MTK2-08_Fekete,Jakab-Farkas.pdf Download (1MB) | Preview |
Abstract
A reaktív egyenáramú magnetronos porlasztási eljárás segítségével számos vékonyréteg-bevonat hozható létre, amelyek felhasználhatóak különféle ipari alkalmazásokban, az orvostudományban, a repülőiparban, kamatoztatva sokoldalú szerkezeti és kémiai tulajdonságaikat. Az alkalmazási területet egyértelműen a rétegek összetétele és szerkezete határozza meg. Annak érdekében, hogy a porlasztási folyamat stabil és megismételhető legyen, szükségessé válik a folyamat valamennyi paraméterének szabályozása, amely testre szabott mérő, adatgyűjtő és irányítási rendszerek fejlesztésével érhető el. A következő cikk fő célja ismertetni a tervezési és megvalósítási lépéseit annak a beágyazott rendszernek, amely vezérel egy kvadrupól tömegspektrométert, valamint lehetővé teszi az analizátor által mért adatok elérését a laboratórium ethernet alapú belső hálózatán keresztül. A megvalósított rendszer segítségével lehetőség nyílik a reaktív porlasztási folyamatban részt vevő semleges és reaktív gázok parciális nyomásainak mérésére.
Item Type: | Article |
---|---|
Subjects: | T Technology / alkalmazott, műszaki tudományok > T2 Technology (General) / műszaki tudományok általában |
SWORD Depositor: | MTMT SWORD |
Depositing User: | Zsolt Baráth |
Date Deposited: | 22 Sep 2022 11:17 |
Last Modified: | 22 Sep 2022 13:59 |
URI: | http://real.mtak.hu/id/eprint/149373 |
Actions (login required)
![]() |
Edit Item |