Fekete, Albert-Zsombor (2017) Reaktív plazmaporlasztási folyamat automatizálása. Műszaki Tudományos Közlemények (6). pp. 79-84. ISSN 2393-1280
|
Text
MTK6_08_FEKETE_Albert_Zsombor.pdf Download (816kB) | Preview |
Official URL: https://doi.org/10.33895/mtk-2017.06.08
Abstract
A különféle vékonyréteg-bevonatok előállítására alkalmazott reaktív magnetronos plazmaporlasztási eljárás rendkívül instabil folyamat, amely szükségessé teszi a szabályozást. A dolgozat célja egy sajátos többszintű hierarchikus irányítási rendszer felépítésének ismertetése, amely nagymértékben hozzájárul a porlasztási folyamat valamennyi paraméterének a méréséhez, feldolgozásához, tárolásához és szabályozásához. A dolgozat hangsúlyosan tárgyalja a digitális kommunikációs protokollt és az osztott rendszer elemeinek szinkronizálására javasolt eljárást.
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Subjects: | T Technology / alkalmazott, műszaki tudományok > T2 Technology (General) / műszaki tudományok általában |
| SWORD Depositor: | MTMT SWORD |
| Depositing User: | Zsolt Baráth |
| Date Deposited: | 27 Sep 2022 14:30 |
| Last Modified: | 27 Sep 2022 14:32 |
| URI: | http://real.mtak.hu/id/eprint/150178 |
Actions (login required)
 |
Edit Item |
